本质安全型设备指的是电路、系统在正产工作状态下，以及规定的故障状态下，可能产生的任何电火花或光、热效应都不会引起规定的爆炸性气体或粉尘混合物爆炸的电气设备。由于本质安全型防爆技术主要是针对电路采取措施的防爆技术，因而对本质安全设备的检查，隔爆型、增安型防爆电气设备的检查那样直观，但是也有十分规范的一套检查程序。
首先对安全检查的工作人员就有十分严格的要求，对本安型设备的检查要有具有相关知识的人员进行。这些人员经过防爆型式、防爆安装实践、以及相关场所分类的一般原则等在内的专业培训，且具有相关的资质证书。
本质安全型设备的现场检查分为初始检查、定期检查和由专业人员连续监督的检查。初始检查往往在整套装置或设备投入运行前的进行；定期检查是在一定的周期内对所有电气设备、系统和装置进行的例行检查；而专业人员进行的连续监督检查，一般是在正常工作中由专业人员连续巡视，持续监督的目的将可能出现的故障今早检测出，并进行修理或处理。
现场对本安技术文件的检查，包括本安电路防爆技术文件；制造商、设备类型、防爆合格证号或认证编号、保护级别、气体防爆设备、设备认证的特殊要求，每个元件或单元在总装设备上的实际位置图等一系列。
检查设备标牌：对本安系统每个设备的标牌进行检查，确保其清晰并符合文件的要求，保证实际安装的电气设备是规定的设备。检查未经批准的修改，检查本安电路“是否未经批准的修改”是个难点，例如很难测出印刷电路板的改变，尽管如此，有些未经批准修改的可能性还是应当给予适当考虑。
检查连接电缆及电缆：对本安系统中各设备连接电缆和参数进行检查，以保证所用电缆符合本安系统文件的要求，特别注意含有多个本安电路的多芯电缆适用性，以及当本安系统电缆和其他电缆在同一管线、管道内或电缆支架上穿过的，需考虑特别的防护措施以防止混触，对安装方面的检查至少包括以下内容，电缆及其安装的完好性和符合性，包括密封、屏蔽和接地等；系统的接地及接地的连续性，接地电阻等；本安电路与非本安电路的隔离及间距符合性；必要时的电源保护；定的保护条件或运行条件等。
